多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用 | 2版
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作者：
王阳元等编著
ISBN：
7030080351
出版日期：
2001-01
版次：
2
中图分类号：
TN44
学科分类：
工程与技术科学基础学科
动力与电气工程
电子与通信技术
丛书：
微电子学丛书
附注信息：
全国高技术重点图书·微电子技术领域 中国科学院科学出版基金资助出版
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图书简介：
本书重点阐述多晶硅薄膜的基本性质及工艺机理，还包括多晶硅薄膜在MOS集成电路和双极集成电路中的应用等内容。
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