半导体材料物理与技术
作者:
杨建荣著
ISBN:
9787030627322
出版日期:
2020-01
版次:
1
中图分类号:
TN304
学科分类:
丛书:
附注信息:
半导体材料是二级学科“微电子与固体电子学”的一个分支学科,《半导体材料物理与技术》将这一分支学科的专业知识划分为半导体材料概述、物理性能、晶体生长、热处理、性能测量和工艺基础技术6个组成部分,通过把分散在众多教科书、专着和文献资料中的专业知识系统地纳入这一学科体系框架,使之成为一本全面介绍半导体材料物理知识、工艺基本原理和实用化技术的专业书籍。由于篇幅的限制,《半导体材料物理与技术》并未深入涉及物理学基本原理的推导、各种材料的性能参数和各类制备工艺的技术细节,需要时读者可运用搜索引擎来获取相关的内容。

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