本书主要介绍用数值方法求解微电子技术所涉及的基本方程．目的是为读者在计算数学与微电子技术之间建立联系，向读者提供一些实现集成电路最大成品率的有效设计方法．
本书共五章，分为工艺模拟、器件模拟、电学性能模拟和中心化设计四个专题，具体内容包括：集成电路基本加工过程的工艺模型和方程，氧气氛下扩散方程的数值求解算法；泊松方程、电流连续性方程的一维、二维边界条件以及对它们的联立求解和松弛求解的算法，用蒙特卡罗算法作器件模拟的计算过程；基于松弛算法的电路方程时序计算，MOS器件BSIM模型及参数提取算法；集成电路工艺的统计设计，简化模型的建立及评价，以及实现最大成品率设计的过程．
本书既可作为理工科高等学校微电子、半导体、应用物理专业本科生和研究生的教学参考书，也可供相关领域科技人员参考．