集成光路
作者:
(日)西原浩等著;梁瑞林译
ISBN:
7030123085
出版日期:
2004-01
版次:
1
中图分类号:
TN491
学科分类:
附注信息:
本书系统地介绍了光波导及其调制理论、光波导制作技术及检测技术、集成电路的精细加工技术等,并收录了集成光路实例。

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