薄膜生长 | 2版
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作者：
吴自勤，王兵，孙霞著
ISBN：
9787030367310
出版日期：
2013-03
版次：
1
中图分类号：
O484.1
学科分类：
物理学
丛书：
现代物理基础丛书
附注信息：
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图书简介：
本书从薄膜的角度介绍相平衡和晶体表面原子结构的基础知识，讲解了薄膜中的缺陷和扩散、薄膜生长的三种模式和成核长大动理学，介绍了金属薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜的生长和生长中出现的分形现象，最后介绍了薄膜制备和研究的各种方法。
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