纳机电基础效应与器件
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作者：
张文栋等著
ISBN：
9787030322821
出版日期：
2011-09
版次：
1
中图分类号：
TM303
学科分类：
动力与电气工程
电子与通信技术
丛书：
纳米科学技术大系
附注信息：
国家科学技术学术著作出版基金资助出版
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图书简介：
本书论述了纳机电器件的基本概念、尺度效应和耦合问题，纳机电器件基础结构的制造、测试和表征方法，并对纳机电加速度传感器、纳机电声传感器、纳机电谐振器、微流体角速度传感器等典型纳机电器件进行了深入阐释。
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