本书以固态薄膜表面为研究对象，主要论述了反射高能电子衍射在监测薄膜生长中的应用。本书从表面晶体学和表面结构形貌分析的原理与方法出发，基于反射电子衍射原理，介绍了其衍射图案的标定、强度振荡及在薄膜生长动力学中的定量分析，最后还总结了近年来反射高能电子衍射的一些新应用。