本书首先简要叙述X射线的动力学衍射理论及衍衬成象理论，然后着重阐明各种X射线单晶衍射貌相、双晶衍射以及干涉仪的原理和实验方法，并介绍上述这些理论和方法在近完整半导体单晶材料和器件及其它一些晶体的研究和分析、检验等方面的应用．本书内容有助于读者了解近完整晶体中的X射线衍射原理和晶体生长机制，掌握观察和分析晶体中缺陷的方法，了解质量检测和控制的途径．
本书可供从事晶体学、晶体生长、晶体缺陷、X射线衍射、固体物理和材料科学等方面的科技人员，高等院校有关专业师生和研究生参考．