现代高纯气体制取、分析与安全使用
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作者：
尹恩华著
ISBN：
9787030449672
出版日期：
2015-07
版次：
1
中图分类号：
TQ116
学科分类：
化学工程
安全科学技术
丛书：
附注信息：
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图书简介：
本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度的重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡及清洗等，无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是本书的核心。
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