微纳制造 : [英文本] | Micro and nanomanufacturing影印版
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作者:
Mark J. Jackson[编著]
ISBN:
9787030182432
出版日期:
2007-01
版次:
1
中图分类号:
TH16
学科分类:
机械工程
丛书:
微纳技术著作丛书
附注信息:
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图书简介:
本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识,以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术,包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。
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