等离子体放电原理与材料处理
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作者：
(美)迈克尔·A.力伯曼(Michael A. Lieberman)，(美)阿伦·J.里登伯格(Allan J. Lichtenberg)著；蒲以康等译
ISBN：
9787030186591
出版日期：
2007-03
版次：
1
中图分类号：
O461
学科分类：
物理学
动力与电气工程
丛书：
工程技术丛书
附注信息：
实用技术
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图书简介：
本书阐述了等离子体物理和化学的基本原理及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。
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