本书收词以真空科学技术专业书刊中常见的词汇为主，兼顾相关学科。内容包括：真空科学、真空技术、表面物理、薄膜物理，以及相关的电子学、机械、低温、原子能技术、宇航、冶金、化工和轻工、食品加工等方面，共收词汇约30,000条。
可供从事真空专业的生产、教学、科研人员和翻译工作者参考。