MEMS强链及其应用
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作者：
陈文元，张卫平著
ISBN：
9787030183293
出版日期：
2007-01
版次：
1
中图分类号：
TM38
学科分类：
动力与电气工程
丛书：
微纳技术著作丛书
附注信息：
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图书简介：
MEMS强链也称MEMS密码锁，是一种用于高风险系统的高可靠性安全保障的微机电装置。本书对UQS密码生成、MEMS强链总体设计、轴向磁场微步进电机、三维非硅准LIGA为主的MEMS强链加工工艺等进行了详尽的阐述。
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