硅烷法制取高纯硅 : 国外资料汇编
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作者：
冶金部北京有色冶金设计院
ISBN：
1503125
出版日期：
1972-04
版次：
1
中图分类号：
TQ127.2
学科分类：
化学工程
丛书：
附注信息：
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图书简介：
内容提要
本书详细地介绍了硅烷的性质；硅烷的发生、提纯（吸附与精馏等）、热分解制取高纯多晶硅与单晶硅的原理和方法；本书还介绍了硅化镁的性质及合成方法等。可供从事硅材料生产的工人、工程技术人员参考。
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