微纳机电系统与微纳传感器技术
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作者：
国家自然科学基金委员会,中国科学院 编
ISBN：
9787030652409
出版日期：
2020-08
版次：
1
中图分类号：
TH-39;TP212
学科分类：
机械工程
丛书：
附注信息：
中国学科发展战略
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图书简介：
本书对微纳机电系统与微纳传感器领域的主要技术进行了分类阐述，全面总结了技术的发展现状，客观分析了技术的发展态势，从学科的发展规律和研究特点出发，前瞻性地思考了技术的发展思路与发展方向，提出了我国发展该学科的资助机制与政策建议。
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