微机电系统设计 : 建模、仿真与可视化
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作者:
卢桂章,赵新著
ISBN:
9787030292209
出版日期:
2010-10
版次:
1
中图分类号:
TN4
学科分类:
信息科学与系统科学
信息与系统科学相关工程与技术
电子与通信技术
丛书:
半导体科学与技术丛书
附注信息:
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图书简介:
本书建立了一种微电子机械器件的设计方法,对现有设计系统功能作了一些重要的补充和完善,其基本思路是在设计阶段,当版图和工艺设计完成后,通过建立运动部件的动态模型,进行三维可视化仿真,形成器件在虚拟环境中运行,从而对器件的运动功能进行评测。
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