本书阐述了微纳结构与系统的知识，包括微纳系统的基本概念、所用材料、加工方法、在多学科交叉领域的具体应用等；探讨了微纳系统领域内一些热点研究方向的最新成果，包括MEMS空间光调制器、MEMS开关、光纤传感器、气体传感器等；并按照设计、加工、测试、封装这一完整流程阐述了研发的方法和技巧，通过实例对各个研发环节的实践经验进行了简明介绍。